Enstriman sa a adopte metòd mezi entèferometrik ki pa gen kontak, optik deplasman faz, pa domaje sifas materyo a pandan mezi a, li ka byen vit mezire grafik ki genyen twa dimansyon nan sifas mikwo-topografi divès kalite, epi analize ak kalkile mezi a. rezilta yo.
Deskripsyon Product
Karakteristik: Apwopriye pou mezire brutality sifas divès kalite blòk kalib ak pati optik; pwofondè nan retikul règ la ak kadran an; epesè kouch nan estrikti griyaj la Groove ak mòfoloji estrikti nan fwontyè a kouch; sifas mayetik (optik) ki gen kapasite ak tèt mayetik Estrikti mezi; Silisyòm wafer sifas brutality ak modèl estrikti mezi, elatriye.
Akòz presizyon nan mezi segondè nan enstriman an, li gen karakteristik ki pa kontak ak mezi ki genyen twa dimansyon, epi li adopte kontwòl òdinatè ak analiz rapid ak kalkil rezilta mezi. Enstriman sa a apwopriye pou tout nivo tès ak inite rechèch mezi, chanm mezi antrepriz endistriyèl ak min, atelye pwosesis presizyon, epi tou apwopriye pou enstitisyon aprantisaj siperyè ak enstitisyon rechèch syantifik, elatriye.
Pwensipal paramèt teknik yo
Mezire seri sifas mikwoskopik inegalite pwofondè
Sou yon sifas kontinyèl, lè pa gen okenn chanjman nan wotè ki pi gran pase 1/4 longèdonn ant de piksèl adjasan: 1000-1nm
Lè gen yon mitasyon wotè ki pi gran pase 1/4 nan longèdonn ant de piksèl adjasan: 130-1nm
Repete nan mezi: δRa ≤0.5nm
Agrandisman lantiy objektif: 40X
Ouverture nimerik: Φ 65
Travay distans: 0.5mm
Enstriman jaden de vi Vizyèl: Φ0.25mm
Foto: 0.13 × 0.13mm
Agrandisman enstriman vizyèl: 500×
Foto (obsève pa ekran òdinatè) -2500×
Etalaj mezi reseptè: 1000X1000
Gwosè piksèl: 5.2 × 5.2µm
Tan mezi echantiyon (eskane) tan: 1S
Enstriman refleksyon glas estanda (segondè): ~ 50%
Refleksyon (ba): ~4%
Sous ekleraj: lanp enkandesan 6V 5W
Longèdonn filtre entèferans vèt: λ≒530nm
Mwatye lajè λ≒10nm
Leve mikwoskòp prensipal: 110 mm
Leve tab la: 5 mm
Ranje mouvman nan direksyon X ak Y: ~10 mm
Ranje wotasyon tab travay: 360 °
Panche ranje tab k ap travay: ± 6 °
Sistèm òdinatè: P4, 2.8G oswa plis, 17-pous ekran plat ak 1G oswa plis memwa